中科院長春應(yīng)化所發(fā)表嵌段共聚物引導(dǎo)組裝研究綜述
2016-06-28 來源:中科院生態(tài)環(huán)境高分子材料重點實驗室
近日,中國科學(xué)院長春應(yīng)用化學(xué)研究所生態(tài)環(huán)境高分子材料重點實驗室季生象課題組應(yīng)邀撰寫的題為Directed self-assembly of block copolymers on chemical patterns: A platform for nanofabrication 的綜述在Progress in Polymer Science上發(fā)表(Prog. Polym. Sci. 2016, 54–55, 76–127)。
該綜述對嵌段共聚物在化學(xué)圖案上引導(dǎo)組裝的原理、流程和技術(shù)手段,及其在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用進行了全面的總結(jié)和評述,并對嵌段共聚物引導(dǎo)組裝的未來發(fā)展前景進行了展望,便于讀者快速全面地了解該研究領(lǐng)域的發(fā)展?fàn)顩r。
使用化學(xué)圖案(chemical pattern)引導(dǎo)組裝(directed self-assembly,DSA)嵌段共聚物薄膜微相分離,可以獲得長程有序排列的納米結(jié)構(gòu)。相對于光刻法得到的納米結(jié)構(gòu),引導(dǎo)組裝制備的納米結(jié)構(gòu)具有相疇定位高度精準、線邊粗糙度小等優(yōu)點,并可以通過自我修復(fù)修正光刻法產(chǎn)生的缺陷以及密度倍增法解決光刻法極限分辨率的難題,是制造下一代芯片和存儲媒體的理想候選技術(shù)之一。
該課題組自2011年組建以來一直在開展嵌段共聚物引導(dǎo)組裝方面的研究工作,通過分子設(shè)計合成新型嵌段共聚物,并研究其在化學(xué)圖案上的引導(dǎo)組裝行為,主要包括:1)高χ值嵌段共聚物的合成及其引導(dǎo)組裝;2)三嵌段共聚物的引導(dǎo)組裝;3)新型聚合物分子刷的合成。
該課題組還應(yīng)邀在Chinese Journal of Polymer Science上發(fā)表了題為From self-assembled monolayers to chemically patterned brushes: Controlling the orientation of block copolymer domains in films by substrate modification的聚合物分子刷方面的綜述( 2016, 34, 659-678) 。
課題組的相關(guān)工作獲得了中科院百人計劃、國家自然科學(xué)基金委和吉林省科技廳等項目的大力支持。
文章鏈接1
文章鏈接2
該綜述對嵌段共聚物在化學(xué)圖案上引導(dǎo)組裝的原理、流程和技術(shù)手段,及其在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用進行了全面的總結(jié)和評述,并對嵌段共聚物引導(dǎo)組裝的未來發(fā)展前景進行了展望,便于讀者快速全面地了解該研究領(lǐng)域的發(fā)展?fàn)顩r。
使用化學(xué)圖案(chemical pattern)引導(dǎo)組裝(directed self-assembly,DSA)嵌段共聚物薄膜微相分離,可以獲得長程有序排列的納米結(jié)構(gòu)。相對于光刻法得到的納米結(jié)構(gòu),引導(dǎo)組裝制備的納米結(jié)構(gòu)具有相疇定位高度精準、線邊粗糙度小等優(yōu)點,并可以通過自我修復(fù)修正光刻法產(chǎn)生的缺陷以及密度倍增法解決光刻法極限分辨率的難題,是制造下一代芯片和存儲媒體的理想候選技術(shù)之一。
該課題組自2011年組建以來一直在開展嵌段共聚物引導(dǎo)組裝方面的研究工作,通過分子設(shè)計合成新型嵌段共聚物,并研究其在化學(xué)圖案上的引導(dǎo)組裝行為,主要包括:1)高χ值嵌段共聚物的合成及其引導(dǎo)組裝;2)三嵌段共聚物的引導(dǎo)組裝;3)新型聚合物分子刷的合成。
該課題組還應(yīng)邀在Chinese Journal of Polymer Science上發(fā)表了題為From self-assembled monolayers to chemically patterned brushes: Controlling the orientation of block copolymer domains in films by substrate modification的聚合物分子刷方面的綜述( 2016, 34, 659-678) 。
課題組的相關(guān)工作獲得了中科院百人計劃、國家自然科學(xué)基金委和吉林省科技廳等項目的大力支持。
文章鏈接1
文章鏈接2

嵌段共聚物在化學(xué)圖案上的引導(dǎo)組裝流程
版權(quán)與免責(zé)聲明:本網(wǎng)頁的內(nèi)容由中國聚合物網(wǎng)收集互聯(lián)網(wǎng)上發(fā)布的信息整理獲得。目的在于傳遞信息及分享,并不意味著贊同其觀點或證實其真實性,也不構(gòu)成其他建議。僅提供交流平臺,不為其版權(quán)負責(zé)。如涉及侵權(quán),請聯(lián)系我們及時修改或刪除。郵箱:info@polymer.cn。未經(jīng)本網(wǎng)同意不得全文轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。
(責(zé)任編輯:xu)
相關(guān)新聞
- 天津大學(xué)潘莉教授團隊 CEJ:具有雙晶網(wǎng)絡(luò)的乙烯-丙烯嵌段共聚物 - 高性能彈性體及HDPE/iPP共混物的升級回收 2025-07-20
- 中國科大陳昶樂/安大陳敏、張文建 Angew:ROMP-RAFT串聯(lián)聚合新方法制備聚烯烴多嵌段共聚物 2025-07-02
- 天津大學(xué)/北京大學(xué) Sci. Adv.:基于光子微球索引的高容量DNA數(shù)據(jù)存儲隨機訪問技術(shù) 2025-06-21
- 深大李冰石教授團隊和香港科大唐本忠院士團隊《ACS Nano》:手性液晶超分子組裝研究取得新進展 2021-03-10
- 天津大學(xué)任麗霞副教授在瓶刷嵌段共聚物的自組裝研究取得新進展 2020-05-06
- 華南理工大學(xué)程正迪教授:“樹枝型”棒狀分子的精確合成及自組裝研究 2019-09-06