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有機(jī)太陽能電池ITO 電極的光刻制備法及其研究  
有機(jī)太陽能電池ITO 電極的光刻制備法及其研究
資料類型： PDF文件
關(guān)鍵詞： ito  電極  光刻  方塊電阻  
資料大?。?/td> 280K
所屬學(xué)科： 分子表征
來源： 2007年第六屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)
簡介：
目前有機(jī)太陽能電池是光電行業(yè)研究的熱點(diǎn)之一。通常該器件以ITO為陽極，通過真空蒸鍍的方法制作。在對器件進(jìn)行測試時(shí)，ITO電極的設(shè)計(jì)制作，有利于器件的保護(hù)。用光刻技術(shù)進(jìn)行ITO電極的制作，可以得到非常精細(xì)的結(jié)果。重點(diǎn)闡述了利用光刻方法制作優(yōu)良ITO電極的注意點(diǎn)，包括表面清洗、曝光控制、顯影控制和腐蝕工藝，其中由于不同ITO玻璃的導(dǎo)電層厚度、各成分含量不同，所以腐蝕工藝的研究是重點(diǎn)中的重點(diǎn)。提供了對生成光刻ITO電極的質(zhì)量進(jìn)行準(zhǔn)確評價(jià)的一種簡便方法。
作者： 席曦，王振交，楊輝，喬琦，季靜佳，陸紅艷，李果華
上傳時(shí)間： 2008-08-06 13:02:24
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相關(guān)評論 共有11人發(fā)表評論 更多評論
goodlifan    2011-09-20 15:03:13
henhao
jcy20061986    2011-03-02 21:45:13
挺好的。參考一下
sw3552003    2009-12-02 13:09:05
yueduzhong
sw3552003    2009-12-02 12:46:30
正在閱讀中。
zjlbuaa    2009-06-26 8:43:25
很不錯(cuò)的資料，很有參考價(jià)值
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