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鈣鈦礦型氧化物SrTiO3 /BaTiO3多層膜的 激光分子束外延生長(zhǎng)研究  
鈣鈦礦型氧化物SrTiO3 /BaTiO3多層膜的 激光分子束外延生長(zhǎng)研究
資料類(lèi)型: PDF文件
關(guān)鍵詞: 激光分子束外延  SrTiO3/BaTiO3  多層膜  反射式高能電子衍射  原子力顯微鏡  
資料大?。?/td> 155K
所屬學(xué)科: 分子表征
來(lái)源: 2004年第五屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議(9.12-9.16,北京.秦皇島)
簡(jiǎn)介:
用激光分子束外延技術(shù)在SrTiO3(001)襯底上外延生長(zhǎng)SrTiO3/BaTiO3多層膜,通過(guò)反射式高能電子衍射(RHEED)原位實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并結(jié)合原子力顯微鏡(AFM),研究了不同基片溫度下所生長(zhǎng)薄膜的表面平整度,利用X射線(xiàn)衍射(XRD)對(duì)外延薄膜進(jìn)行了結(jié)構(gòu)分析,結(jié)果表明薄膜具有二維生長(zhǎng)模式,在基片溫度為380~470℃之間生長(zhǎng)的薄膜具有原子級(jí)光滑,并且具有完全C軸取向。同時(shí)運(yùn)用X射線(xiàn)光電子能譜(XPS)研究了薄膜界面的互擴(kuò)散,結(jié)果表明降低制備薄膜時(shí)的基片溫度有利于減少互擴(kuò)散。
作者: 姚海軍 李燕 羅佳慧 姜斌 鄧宏 蔣書(shū)文
上傳時(shí)間: 2007-07-09 15:15:44
下載次數(shù): 617
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