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  日前Q电(sh)工研I所联合中国计量U学院、国家纳c科学技术中心共同研制成功国内首套可溯源计量型扫描电(sh)子显微镜?/span>

  ?sh)工所在高分L力场发射扫描?sh)子昑־镜的基础上，加装Ȁ光干涉A距的纳c高精度位Ud, q提Z采用步进扫描代替传统?sh)子束扫描的囑փ获取的创新方法。该Ҏ(gu)可直接关联图像扫描与Ȁ光干涉A的位|测量，实现Ҏ(gu)品纳c结构扫描成像的量值溯源，有效减少?sh)子束扫描成像过E中攑֤倍率波动和扫描线圈非U性特征在U米度量中生的误差Q从而实现对样品U米l构的溯源测量?/span>

  该设备的研制成功Ҏ(gu)国纳c_度计量标准的制定、扫描电(sh)子显微镜及其它纳c_寸测量A器的校准、纳cx样和标物的校准、参与国际长度比对等斚wv到重要作用?/span>

可溯源计量型扫描?sh)子昑־?                 1um二氧化硅微球成像?/span>

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