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近日，由上海微系統(tǒng)所信息功能材料國家重點實驗室曹俊誠研究員負責的太赫茲（THz）課題組自主成功研制了激射頻率為3.2 THz的量子級聯(lián)激光器（QCL）。該器件的整個研制過程，包括有源區(qū)材料生長、器件流片工藝以及光電特性測試等均在微系統(tǒng)所完成，為發(fā)展相關(guān)THz應(yīng)用系統(tǒng)奠定了基礎(chǔ)。

THzQCL具有體積小、輕便、易集成、能量轉(zhuǎn)換效率高，并且可在連續(xù)波模式下工作等優(yōu)點。它是一種具有復(fù)雜結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體量子器件。課題組采用V90氣態(tài)源分子束外延設(shè)備生長了基于GaAs/AlGaAs材料體系的THzQCL有源區(qū)；采用單面金屬波導(dǎo)工藝制備并封裝了THzQCL器件；采用遠紅外傅里葉變換光譜儀測試了器件的發(fā)射譜，激射頻率為3.2 THz。