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The Interfacial Engineering for the Fabrication of EpoxyMicrofluidic-photonic-integrated Devices on Glass Substrates
關(guān)鍵詞: EpoxyMicrofluidic-photonic-integrated Devices
類(lèi) 別: 復(fù)合材料 >> 樹(shù)脂基復(fù)合材料
來(lái) 源: 2009年第四屆中歐增強(qiáng)高聚物工藝與性能?chē)?guó)際學(xué)術(shù)會(huì)議(桂林,June 8-12)
資料類(lèi)型: pdf文件
資料大?。?/td> 319K
簡(jiǎn) 介: Fabricating epoxy SU-8-based microfluidic and photonic devices on glass substrates,
such as pyrex wafers, has proven to be very difficult. The reason is that it is hard to
completely remove residual material between patterned structures while obtaining
sufficient bonding of the structures to the pyrex surface.
上傳人: magicpower
上傳時(shí)間: 2009-08-03 9:58:51
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